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三瓶手動特氣柜(GC)
- 氦檢報告
- 手動操作
- 高壓測漏功能
- 帶自清潔功能
- 三瓶工藝瓶供氣
- 半自動切換供氣
- 4寸排風口及閥門
可選配置
- 噴淋頭
- 帶加熱盤面
- 高溫探測報警
- 配置電子磅秤
- 煙霧感應器配置 UV/IR火焰探測器
- 前端0.1μ過濾器，后端0.001μ終端過濾器
適應氣體
- 燃爆性氣體: 如氫氣（H2）, 一氧化氮（N2O）, 甲烷（CH4）,乙炔（C2H2)等
- 毒腐性氣體: 如二氧化硫（SO2）、硫化氫（H2S）、一氧化碳（CO）、二氧化氮（NO2）、氯化氫（HCL）等
應用行業
- 應用在 MOCVD、PECVD、刻蝕機等配套設備上，適用于高校實驗室、材料分析實驗室、芯片半導體、光伏太陽能電池、生物醫藥工程、微電子新材料等行業。
應用行業
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光伏太陽能
-
半導體芯片
-
生物醫藥工程
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高校科研實驗室
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微電子新材料
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材料分析實驗室
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