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大流量全自動特氣柜(BSGS)
  • 氦檢報告
  • 三色塔燈
  • 防爆電控箱
  • 高壓測漏功能
  • 帶自清潔功能
  • 工藝瓶自動供氣
  • 4寸排風口及閥門
可選配置
  • 噴淋頭
  • 帶加熱盤面
  • 高溫探測報警
  • 配置電子磅秤
  • 配置 UV/IR,噴淋頭，高溫，煙感應
  • 前端0.1μ過濾器，后端0.001μ終端過濾器
  • 為保證安全，所有閥門管件須使用美國Parker、Aptech、 Fujikin、TK、Unilok、SMAT、Mott、Hisptech等品牌      
適應氣體
  • 燃爆性氣體：如氫氣（H2）, 一氧化氮（N2O）, 甲烷（CH4）,乙炔（C2H2)等
  • 毒腐性氣體：如二氧化硫（SO2）、硫化氫（H2S）、一氧化碳（CO）、二氧化氮（NO2）、氯化氫（HCL）等
應用行業

  • 應用在 MOCVD、PECVD、刻蝕機等配套設備上，適用于高校實驗室、材料分析實驗室、芯片半導體、光伏太陽能電池、生物醫藥工程、微電子新材料等行業。

應用行業
  • 光伏太陽能
    光伏太陽能
  • 半導體芯片
    半導體芯片
  • 生物醫藥工程
    半導體芯片
  • 高校科研實驗室
    高校科研實驗室
  • 微電子新材料
    微電子新材料
  • 材料分析實驗室
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