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混合手動特氣柜(GC)
應用在 MOCVD、PECVD、刻蝕機等配套設備上,適用于高校實驗室、材料分析實驗室、芯片半導體、光伏太陽能電池、生物醫藥工程、微電子新材料等行業。
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四瓶全自動氣瓶架(GR)
規格:四瓶工藝氣瓶,全自動
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落地式閥門控制箱
VMB閥門分配箱,是一種內嵌多支路,實現高純氣體或液體分流的閥門箱。VMB能讓高純原料從單一來源被分配到多點應用。對于每個使用點,壓力可被單獨地調控,從而可同時滿足不同應用的需求。它還可提供吹掃功能和真空抽氣功能,因此操作人員能夠在無危險氣體泄漏的情況下安全地維。除此以外,設備運行過程中能在不影響其它支路氣體供應情況下,吹掃某一支路或對其進行真空抽氣
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電熱水洗廢氣處理柜(Scrubber)
處理流量:600SLM
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多路監測報警
輸入電壓:220VAC,50HZ
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2次調壓控制面板
將數個氣瓶分組匯合后進行減壓,再通過主管道輸送至使用終端的系統設備,主要用于中小型氣體供應站以及其它適用場所。
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