客戶背景：

此項目客戶是山東一家半導體公司，實驗使用的干法刻蝕設備，涉及到的氣體有六氟化硫、氯氣、硅烷、氫氣、氦氣等8路氣體。為實驗人員提供穩定、高純、安全的實驗環境

客戶需求：

（1）實驗室內沒有比較合適的位置做氣瓶間

（2）壓端用氣設備對壓力和流量希望能動態調節

（3）氣體使用壓力有低壓高壓要求，使用的鋼瓶尺寸大小各異

（4）能做到人機分離，尾氣排放這一塊要求能直接排放不產生環保問題

解決方案：

（1）提供燃爆類移動氣房，智能化控制，可實現現場及遠程報價，集中化控制

（2）提供毒腐燃爆類專用Hisptech 型專用全自動氣體控制柜，自動切換，帶有二次調壓、三級調壓，降低調壓閥兩側壓力差，保證使用壽命。配置專業開發的軟件，實現人機分離智能化操作

（3）提供Hisptech電熱分解式+高分子WET式Scrubber，采用超高溫夾套分解式與超高壓水分子吸附處理方式，處理效率≥99.999%